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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH07115132(A)
申请公布日期
1995.05.02
申请号
JP19930258380
申请日期
1993.10.15
申请人
KAWASAKI STEEL CORP
发明人
HIRANO SHINJI
分类号
H01L21/768;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/768
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
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