发明名称 半导体装置
摘要 本发明公开了一种半导体装置,包含一芯片,具有一有源面以及一相对于所述有源面的背面;一模塑料,覆盖并包覆所述芯片;以及一重分布层,设于所述有源面以及所述模塑料上,其中所述重分布层是与所述芯片电连接,所述重分布层包含至少一有机介电层以及一无机介电硬掩膜层,设于所述有机介电层上,其中所述重分布层还包含一金属结构,设于所述有机介电层以及所述无机介电硬掩膜层中。
申请公布号 CN106409803A 申请公布日期 2017.02.15
申请号 CN201610023690.1 申请日期 2016.01.14
申请人 华亚科技股份有限公司 发明人 施信益;吴铁将
分类号 H01L23/495(2006.01)I 主分类号 H01L23/495(2006.01)I
代理机构 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 代理人 江耀纯
主权项 一种半导体装置,其特征在于,包含:一芯片,具有一有源面以及一相对于所述有源面的背面;一模塑料,覆盖并包覆所述芯片;以及一重分布层,设于所述有源面以及所述模塑料上,其中所述重分布层是与所述芯片电连接,所述重分布层包含至少一有机介电层以及一无机介电硬掩膜层,设于所述有机介电层上,其中所述重分布层还包含一金属结构,设于所述有机介电层以及所述无机介电硬掩膜层中。
地址 中国台湾桃园市