X射线透射检查装置和X射线透射检查方法

摘要

提供X射线透射检查装置和X射线透射检查方法，其即使在试样的高度方向上存在位置变化也能够防止异物的过检测和误检测。X射线透射检查装置具有：X射线源(2)，其对试样S照射X射线X；试样移动机构(3)，其在来自X射线源的X射线的照射中使试样向特定方向连续移动；TDI传感器(4)，其相对于试样设置在与X射线源相反的一侧，检测透射过试样的X射线；距离传感器(5)，其测定X射线源与试样的距离；以及TDI控制部(6)，其根据由距离传感器测定的所述距离的变动使TDI传感器(4)的电荷输送速度实时变化，对TDI传感器进行控制。

主权项

一种X射线透射检查装置，其特征在于，所述X射线透射检查装置具有：X射线源，其对试样照射X射线；试样移动机构，其在来自所述X射线源的X射线的照射中使所述试样向特定方向连续移动；TDI传感器，其相对于所述试样设置在与所述X射线源相反的一侧，检测透射过所述试样的所述X射线；距离传感器，其测定所述X射线源与所述试样的距离；以及TDI控制部，其根据由所述距离传感器测定的所述距离的变动使所述TDI传感器的电荷输送速度实时变化，对所述TDI传感器进行控制。