一种复合微机械电容式超声换能器

摘要

本实用新型公开了一种复合微机械电容式超声换能器，提供了一种复合微机械电容式超声换能器包括CMUT的低频结构和CMUT的高频结构；所述的CMUT的低频结构与CMUT的高频结构键合。本实用新型通过在不同的硅片上分别获得CMUT的高频结构和低频结构，使得复合CMUT结构得以实现；并采用双SOI硅片，CMUT的振动弹性膜的平面度达到纳米量级，同时，CMUT的真空腔体的底部平面度同样可以达到纳米量级，增加CMUT的频宽，能有效地提高传感器的灵敏度。

主权项

一种复合微机械电容式超声换能器，其特征在于：包括CMUT的低频结构和CMUT的高频结构，所述的CMUT的低频结构包括由第一电极和振动薄膜的支撑体，二者通过绝缘层隔离设置；所述的第一电极上衬底为硼重参杂衬底，所述第一电极上设置有CMUT低频腔体；所述的CMUT的高频结构包括振动薄膜层和设置在振动薄膜层两面的第二电极、高频腔体支承墙，高频腔体支承墙与振动薄膜层形成高频腔体；所述的CMUT的低频结构与CMUT的高频结构键合，且振动薄膜的支撑体与振动薄膜构成低频真空腔体，所述的高频腔体支承墙设置在低频真空腔体内，而第二电极设置在低频真空腔体外。