发明名称 SELECTIVE DIFFUSION BARRIER BETWEEN METALS OF AN INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要 본 개시내용의 실시예들은 집적 회로(IC) 디바이스의 금속들 간의 선택적 확산 장벽과, 연관된 기술들 및 구성들을 기술한다. 일 실시예에서, 장치는 유전성 재료, 유전성 재료에 배치되는 제1 금속을 포함하는 제1 인터커넥트 구조체, 유전성 재료에 배치되고 제1 인터커넥트 구조체와 전기적으로 결합되는 제2 금속을 포함하는 제2 인터커넥트 구조체, 및 제1 인터커넥트 구조체와 제2 인터커넥트 구조체 사이의 계면에 배치되는 확산 장벽을 포함하고, 제1 금속 및 제2 금속은 상이한 화학적 조성을 가지며, 확산 장벽의 재료 및 제2 금속은 상이한 화학적 조성을 가지고, 확산 장벽의 재료는 제2 금속과 유전성 재료 사이에 바로 배치되지 않는다. 다른 실시예들이 설명되고/되거나 청구된다.
申请公布号 KR20170017878(A) 申请公布日期 2017.02.15
申请号 KR20167031168 申请日期 2014.06.16
申请人 인텔 코포레이션 发明人 로버츠, 자네트 엠.;로메로, 패트리시오 이.;클렌데닝, 스코트 비.;예제프스키, 크리스토퍼 제이.;체비암, 라마난 브이.
分类号 H01L23/532;H01L21/31;H01L21/38;H01L21/768 主分类号 H01L23/532
代理机构 代理人
主权项
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