一种生产异质结太阳能电池的PECVD设备及工作方法

摘要

本发明涉及一种生产异质结太阳能电池的PECVD设备，其主要部件进片腔、第一反应腔、传输腔、第二反应腔和出片腔共同沟成U型结构，解决了工业生产中大尺寸托盘在PECVD设备的传输腔内所产生的一系列传输问题，降低技术难度和生产成本。

主权项

一种生产异质结太阳能电池的PECVD设备，包括：按顺序依次排列的进片腔、第一反应腔、传输腔、第二反应腔和出片腔，所述进片腔和出片腔分别用于衬底托盘的传入和传出，所述托盘的面积大于1m²，所述第一反应腔和第二反应腔均采用PECVD方法制备所需薄膜，所述第一反应腔用于沉积I型非晶硅薄膜，所述第二反应腔用于沉积P型或者N型非晶硅薄膜，所述传输腔用于将所述衬底托盘从所述第一反应腔传入至所述第二反应腔，其特征在于：成一直线排布的所述进片腔与第一反应腔、所述传输腔、成另一直线排布的所述第二反应腔与出片腔共同构成U型结构，所述传输腔内的传输方向垂直于所述进片腔与第一反应腔内的传输方向，所述传输腔内的传输方向也垂直于所述第二反应腔与出片腔内的传输方向。