| 发明名称 |
--- HIGH-HARDNESS-MATERIAL-POWDER INFUSED ELASTOMER FOR HIGH FRICTION AND COMPLIANCE FOR SILICON WAFER TRANSFER |
| 摘要 |
웨이퍼 프로세싱 툴 내의 이송 챔버의 로봇 암에서 사용하기 위한 콘택트 패드로서, 탄성체 바디, 및 탄성체 바디의 표면을 도핑하는 고 경도 분말을 포함하는 콘택트 패드가 본 명세서에 개시된다. |
| 申请公布号 |
KR20170017763(A) |
申请公布日期 |
2017.02.15 |
| 申请号 |
KR20160098744 |
申请日期 |
2016.08.03 |
| 申请人 |
램 리써치 코포레이션 |
发明人 |
히스터 제이콥 엘.;블랭크 리처드 엠.;린골드 타이슨 엘.;워이토위츠 피터 제이.;살렉 모센 에스. |
| 分类号 |
H01L21/677;B65G47/90;B65G49/06 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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