发明名称 TESTING APPARATUS AND ACQUIRING METHOD OF TESTING CONDITION
摘要 [과제] 사용자 환경과 테스터 환경의 시험 결과의 괴리를 저감시킨다. [해결수단] 판정부(20)는 DUT(1)의 통과/실패를 판정한다. 전원 회로(10)는 그 특성이 변경 가능하게 구성되고, DUT(1)에 전원 신호를 공급한다. 조건 설정부(40)는 DUT(1)의 본 시험에 앞서 파일럿 시험을 실행하고, 본 시험에서 시험 조건을 취득한다. 조건 설정부(40)는 이하의 처리를 실행 가능하게 구성된다. (a) 전원 회로(10)의 특성을 DUT(1)가 실제로 사용되는 사용자 환경의 전원 특성에 근접한 상태에서, DUT(1)의 복수의 파일럿 샘플 각각에 대해 제1 디바이스 특성을 측정한다. (b) 전원 회로(10)의 특성을 본 시험이 실행되는 테스터 환경의 전원 특성에 근접한 상태에서, 복수의 파일럿 샘플 각각에 대해 소정의 제2 디바이스 특성을 측정한다. (c) 제1 디바이스 특성 및 제2 디바이스 특성에 기초하여, 시험 조건을 측정한다.
申请公布号 KR101508435(B1) 申请公布日期 2015.04.07
申请号 KR20130117552 申请日期 2013.10.01
申请人 가부시키가이샤 어드밴티스트;고쿠리츠다이가쿠호우진 도쿄다이가쿠 发明人 이시다, 마사히로;나쿠라, 토루;코마츠, 사토시;아사다, 쿠니히로
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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