| 发明名称 |
- COPOLYMER AND ASSOCIATED LAYERED ARTICLE AND DEVICE-FORMING METHOD |
| 摘要 |
코폴리머는 자외선 흡수 모노머, 및 염기-용해도-향상 모노머를 포함하는 모노머들의 중합에 의해 제조된다. 코폴리머는 전자빔 및 극자외선 리소그래피(lithography)를 위한 톱코트 층을 형성시키기 위해 유용하다. 또한, 톱코트 층을 포함하는 층상 물품, 및 전자 소자를 형성시키는 관련된 방법이 기술된다. |
| 申请公布号 |
KR20170017825(A) |
申请公布日期 |
2017.02.15 |
| 申请号 |
KR20160100094 |
申请日期 |
2016.08.05 |
| 申请人 |
롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨;더 유니버서티 어브 퀸슬랜드 |
发明人 |
제임스 더블유. 새커리;케 두;피터 트레포나스 3세;이드리스 블레이키;앤드류 키이스 휘터커 |
| 分类号 |
C08F220/18;C08F2/48;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
C08F220/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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