| 摘要 |
역 펄싱을 위한 시스템들 및 방법들이 기술된다. 방법들 중 하나는 제 1 상태 및 제 2 상태를 갖는 디지털 신호를 수신하는 단계를 포함한다. 방법은 디지털 신호가 제 1 상태에 있을 때 하이 상태를 갖고 디지털 신호가 제 2 상태에 있을 때 로우 상태를 갖는 TCP (transformer coupled plasma) RF (radio frequency) 펄싱된 신호를 생성하는 단계를 더 포함한다. 방법은 TCP RF 펄싱된 신호를 플라즈마 챔버의 하나 이상의 코일들에 제공하는 단계, 디지털 신호가 제 1 상태에 있을 때 로우 상태를 갖고 디지털 신호가 제 2 상태에 있을 때 하이 상태를 갖는 바이어스 RF 펄싱된 신호를 생성하는 단계, 및 바이어스 RF 펄싱된 신호를 플라즈마 챔버의 척에 제공하는 단계를 포함한다. |
