发明名称 |
一种光刻机 |
摘要 |
本实用新型涉及一种光刻机,具体涉及一种曝光装置可旋转的光刻机。包括工作平台、PLC控制系统、曝光装置。组装时,X轴滑动平台与Z轴滑动平台通过滑动槽连接,X轴滑动平台和Z轴滑动平台分别与电机连接,实现平移,曝光装置设置在X轴靠后位置,曝光装置与电机连接,实现调节曝光装置与X轴的夹角,托盘与电机连接,曲面产品放置在托盘上,用设置在托盘的夹角固定,避免旋转过程中被甩出。通过曝光装置照射的光线的垂直入射,提高光刻的均匀性,实现光刻的高精度。 |
申请公布号 |
CN205958926U |
申请公布日期 |
2017.02.15 |
申请号 |
CN201620887356.6 |
申请日期 |
2016.08.15 |
申请人 |
东莞同济大学研究院;东莞科伏精密制造有限公司 |
发明人 |
李宏强;魏泽勇;曾威;武超;林彦霆;黄宇宇 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 |
代理人 |
詹晓云 |
主权项 |
一种光刻机,其特征在于:包括工作平台、PLC控制系统和曝光装置;所述工作平台包括X轴滑动平台、Z轴滑动平台,X轴滑动平台和Z轴滑动平台分别连接有电机,X轴滑动平台和Z轴滑动平台滑动连接; PLC控制系统,用于控制曝光装置及X轴滑动平台、Z轴滑动平台的运动轨迹;曝光装置安装于X轴或Z轴滑动平台上,曝光装置连接有第一旋转电机。 |
地址 |
523808 广东省东莞市松山湖高新区创新科技园11号楼302 |