一种双光路成像的振镜扫描系统及扫描方法

摘要

本发明涉及激光技术领域，公开了一种双光路成像的振镜扫描系统，包括第一镜片、第二镜片、大视场成像单元、小视场成像单元、聚焦镜、XY扫描振镜和光源；外部的激光光路透过第一镜片到达XY扫描振镜，经过反射后，依次透过聚焦镜和第二镜片，作用在待打标物体上对其进行打标；点亮所述光源发出照明光路打亮待打标物体，照明光路被反射到第二镜片上，其中部分照明光路经第二镜片反射到大视场成像单元中成像，用于监控打标情况；还有部分照明光路依次透过第二镜片和聚焦镜后聚焦在XY扫描振镜上，通过第一镜片反射至小视场成像单元中成像，用于对打标情况进行检测。本发明能够提高扫描系统的检测精度和检测效率。

主权项

一种双光路成像的振镜扫描系统，其特征在于：包括第一镜片(1)、第二镜片(2)、大视场成像单元、小视场成像单元、聚焦镜(8)、XY扫描振镜(9)和光源(11)；外部的激光光路透过第一镜片(1)到达XY扫描振镜(9)，经过XY扫描振镜(9)反射后，依次透过聚焦镜(8)和第二镜片(2)，作用在待打标物体(12)上对其进行打标；所述光源(11)发出照明光路打亮待打标物体(12)，待打标物体(12)将照明光路反射到第二镜片(2)上，其中部分照明光路经第二镜片(2)反射到大视场成像单元中成像，用于监控待打标物体(12)的打标情况；还有部分照明光路依次透过第二镜片(2)和聚焦镜(8)后聚焦在XY扫描振镜(9)上，通过XY扫描振镜(9)作用至第一镜片(1)，并被反射至小视场成像单元中成像，用于对待打标物体(12)的打标情况进行检测。