| 摘要 |
본 발명의 일 실시예에 따른 결함 분포 3차원 광 계측 장치는 빛을 공급하는 광원부, 상기 광원부에서 방출된 빛을 디스플레이 패널로 입사시키는 조명부, 디스플레이 패널의 표면에서 반사된 빛과 깊이 ΔZ의 면에서 반사된 빛을 확대부로 보내주는 스캔부, 상기 패널의 표면에서 반사된 빛과 깊이 ΔZ의 면에서 반사된 빛 사이의 거리 ΔX를 확대하는 확대부, 상기 거리 ΔX를 측정하는 검출부 및 상기 디스플레이 패널 상부에 위치하여 상기 디스플레이 패널을 촬영하는 촬영부를 포함한다. |
