| 摘要 |
단일 검정-질량(201)을 포함하거나 6-자유도들을 측정하는 미세가공된 관성 센서(200)가 제공된다. 단일 검정-질량(201)은 프레임(202), 제1 굴곡부에 의해 프레임에 부착된 x-축 검정 질량 영역(212a, 212b), 및 제2 굴곡부(228a, 228b)에 의해 프레임(202)에 부착된 y-축 검정 질량 영역(218)을 포함한다. 단일 검정-질량(201)은 미세가공된 구조의 층 내에 형성되고 단일 구동 운동으로 3개의 축들에 대한 각속도들 및 3개의 축들에 대한 선형 가속들을 측정하도록 적응된다. |
