| 摘要 |
본 발명은 반도체의 공정챔버에서 사용 후 폐기되는 공정 폐가스가 스크러버에서 고온으로 버닝된 후 물 분사에 따라 증발된 수증기와 함께 섞여 고온 다습한 상태로 배기덕트를 향해 이동하는 과정에서 그 고온 다습한 상태의 공정 폐가스를 냉각하여 제습하는 기술로서, 고온 다습한 상태의 공정 폐가스가 이동하는 통로에 설치되어 그 고온 다습한 상태의 공정 폐가스를 냉각시킴으로써 공정 폐가스에 섞인 수증기를 물방울 상태로 응결시킴에 따라 배기덕트로 연결되는 덕트배관 내에 파우더 등의 이물질이 축척되는 것을 방지하도록 하는 기술이다. 본 발명에 따르면, 폐가스 냉각제습 챔버 내에 설치되는 폐가스 냉각제습 관로를 독특한 구조로 개선하여 고온 다습한 상태의 공정 폐가스에 대한 제습 효율을 획기적으로 향상시킬 수 있는 장점을 나타낸다. |
