| 摘要 |
본 발명은 스크라이브 라인이 형성된 기판의 일측면 측에 인접하게 마련되어 스크라이브 라인이 형성된 기판의 일측면 측의 공기를 흡입하는 흡기 유닛; 및 흡기 유닛의 양측에 마련되며 기판의 일측면을 향하여 공기를 배출하는 배기 유닛을 포함하는 기판 브레이크 장치를 제공하여, 비접촉 방식으로 기판의 브레이킹 공정을 행함으로써 접촉식 방식의 문제점인 오차 발생이나 접촉면의 이물 발생을 방지할 수 있고 절단 시 불량률을 감소시킬 수 있으며, 스크라이브 라인을 중심으로 기판의 스크라이브 라인이 형성된 부분과 그 양 측면에 서로 상반되는 힘이 작용하게 함으로써 절단력을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. |
