| 摘要 |
롤러 몰드의 표면에 마스크 패턴을 소정 영역마다 주위 방향으로 노광하는 이른바 스텝 앤 리피트 방법에 있어서, 마스크 패턴간의 간격 정밀도를 향상시키고, 마스크 패턴이 일주하였을 때에 이음매가 어긋나는 것을 억제할 수 있도록 한다. 이것을 실현하기 위해, 본 발명에 관한 롤러 몰드 제작 장치는, 피조사물의 일부를 투과시키는 기능을 갖는 마스크(3)와, 롤러 몰드(100)를 회전축 주위로 회전시키는 회전 구동 장치와, 회전량을 검출하는 회전량 검출 센서와, 피조사물에 의한 롤러 몰드(100)의 레지스트 상에서의 주위 방향 묘화 위치를 조정하기 위한 제어 신호를 송신하는 제어 장치와, 마스크(3)를 직선 상태로 이동시키는 액추에이터(7)를 구비하고, 롤러 몰드(100)의 회전을 멈춘 상태에서 소정 범위에 피조사물을 조사하고, 상기 롤러 몰드(100)를 소정량 회전시켜 멈추고, 다른 소정 범위에 피조사물을 조사할 때의 주위 방향 묘화 위치를 조정한다. |
