| 摘要 |
時間の経過等により物性が変わる塗布液を、均一な塗布に適した状態で、連続して安定的に塗布装置に供給できる塗布液循環システムを提供する。塗布液循環システム（１）は、貯蔵釜（１０４）と、循環経路（Ｒ１）と、分散装置（１０６）とを有する。貯蔵釜（１０４）は、高分子を含有する塗布液を貯蔵する。循環経路（Ｒ１）は、貯蔵釜（１０４）に貯蔵された塗布液を順次貯蔵釜（１０４）から流出し、再度貯蔵釜（１０４）に導く。分散装置（１０６）は、循環経路（Ｒ１）の途中に設けられ、循環経路（Ｒ１）を通る塗布液を分散する。 |
