| 摘要 |
【課題】 短時間で試料を含む空間内を所定の温度のガスでパージすることができ、また、配管等に耐熱性を有する部材を使用する必要がなく、試料の測定や評価に寄与することができるガス供給装置を提供する。【解決手段】 ガス供給装置１は、ガス供給源２からガスが供給されるガス受入口２３と、試料を収納するチャンバー３とを管路５０により接続した構成を有する。管路５０には、電磁開閉弁２４と、流量調整弁２５と、流量計１２と、加湿機構２６と、流体加熱器４０とが設けられている。流体加熱器４０内には、温度センサ４１が設けられている。また、流体加熱器４０には、流体加熱器４０から噴出されるガスの温度を検出するための温度センサ２７が付設されている。【選択図】 図２ |
