| 摘要 |
【課題】保護膜を形成する樹脂を効率的に乾燥させることができるレーザー加工方法を提供すること。【解決手段】ウエーハＷの表面に格子状に形成された複数のストリートＬによって区画された複数の領域にデバイスＤが形成されたウエーハＷをストリートＬに沿ってレーザー加工するレーザー加工方法であって、ウエーハＷの裏面を保持するウエーハ保持工程（ステップＳ１）と、ウエーハＷの表面に水溶性の液状樹脂を供給する供給工程（ステップＳ２）と、水溶性の液状樹脂にキセノンフラッシュランプから光を照射して、水溶性の液状樹脂を乾燥させて、ウエーハＷ上に保護膜Ｐを形成する保護膜形成工程（ステップＳ３）と、ストリートＬに沿って、保護膜Ｐを介してウエーハＷにレーザー光を照射するレーザー照射工程（ステップＳ４）と、レーザー照射工程の後、ウエーハＷを洗浄する洗浄工程（ステップＳ５）と、を有する。【選択図】図５ |
