銅層およびチタン層を含む多層薄膜をエッチングするためのエッチング液およびこれを用いたエッチング方法、並びに該エッチング方法を用いて得られた基板

摘要

【課題】ガラス、二酸化ケイ素および窒化ケイ素から選択される１種以上を用いた基板上に積層された銅を主成分とする銅層およびチタンを主成分とするチタン層を含む多層薄膜をエッチングするためのエッチング液、およびこれを用いた銅層およびチタン層を含む多層薄膜のエッチング方法、並びに該エッチング方法を用いて得られる基板を提供する。【解決手段】（Ａ）過酸化水素：４．５〜７．５質量％、（Ｂ）硝酸：０．８〜６質量％、（Ｃ）フッ素化合物：０．２〜０．５質量％、（Ｄ）アゾール類：０．１４〜０．３質量％、（Ｅ）アルキルアミン（Ｅ１）アルカノールアミン、（Ｅ２）ジアミン、（Ｅ３）及びシクロヘキシルアミン（Ｅ４）から選択される１種以上であるアミン化合物：０．４〜１０質量％、及び（Ｆ）過酸化水素安定剤：０．００５〜０．１質量％を含む水溶液であり、ｐＨ値が１．５〜２．５であるエッチング液。【選択図】図１