| 摘要 |
【課題】対象物の形状を容易かつ正確に検査することが可能な画像検査装置、画像検査方法を提供する。【解決手段】設定モードにおいて、設定用対象物のテクスチャ画像データおよび高さ画像データが取得される。画像選択操作部４６１の操作等によりテクスチャ画像データおよび高さ画像データのうち一方が選択される。選択された画像データが位置合わせのための基準画像データとして登録される。検査モードにおいて、検査対象物のテクスチャ画像データおよび高さ画像データが取得される。登録された基準画像データに対応する画像データが位置合わせ用画像データとして設定される。パターンマッチングにより位置合わせ用データが基準画像データに位置合わせされることにより、検査対象物についてのテクスチャ画像データおよび高さ画像データの位置合わせが行われる。位置合わせされた画像データに基づいて、検査対象物の検査が行われる。【選択図】図１３ |
