再循環型基板コンテナパージングシステム及び方法

摘要

半導体基板コンテナ用の、パージガスの消費を削減するための方法及びシステム。再循環型パージングシステムは、基板コンテナからのガス流を濾過及び精製すること、装填ポートからのガス流を受承すること、又は再循環タンクを含むことによって、パージガスを基板コンテナに戻すように再循環させる。【選択図】図３Ａ