| 摘要 |
【課題】板状ガラスの表裏一方の面への処理ガスによる表面処理を、表裏他方の面への処理ガスによる表面処理を実質的に防止しつつ連続的に実施する板状ガラスの表面処理装置の提供。【解決手段】板状ガラスＰが通過可能な隙間１２と、隙間１２を形成する双方の隙間形成面１３，１４と、何れも一方の隙間形成面１３の側に配設され、板状ガラスＰの表裏一方の面Ｐｂに表面処理を施すための処理ガスＧａを隙間１２に供給可能な処理ガス供給部１７と、隙間１２に供給された処理ガスＧａを排気可能な処理ガス排気部１８と、他方の隙間形成面１４に供給口２３ａが開口し、不活性ガスＧｃを隙間１２に向けて供給する不活性ガス供給部２３とを具備する板状ガラスＰの表面処理装置１０。【選択図】図５ |
