| 摘要 |
【課題】反りを小さくできる、薄膜付き強化ガラス基板の製造方法の提供。【解決手段】対向する第１，第２の主面１１ａ，１１ｂを有するガラス基板をイオン交換法で化学強化し、第１，第２の主面に、各々第１，第２の圧縮応力層２１ａ，２１ｂを形成し、強化ガラス基板２１を作製する強化工程と、薄膜３を、強化ガラス基板２１の第１の圧縮応力層２１ａ及び第２の圧縮応力層２１ｂの内の少なくとも一方の上に形成し、薄膜付き強化ガラス基板１を作製する成膜工程とを備え、強化工程で、第１の圧縮応力層２１ａ及び第２の圧縮応力層２１ｂの、表面圧縮応力値及び圧縮応力深さの内の少なくとも一方を異ならせて、第１の圧縮応力層２１ａの外表面に対し垂直な第１の方向Ｙ１への反りが形成された強化ガラス基板２１を作製し、成膜工程で、強化ガラス基板２１の第１の方向Ｙ１の反りを低減させるように薄膜３を形成する方法。【選択図】図１ |
