金属酸化物前駆体薄膜パターンの製造方法、金属酸化物薄膜パターンの製造方法及び該方法により製造された金属酸化物薄膜パターン並びに電子部品

摘要

【課題】印刷製造技術において、フォトリソグラフィ工程やエッチング工程を必要としない、金属酸化物前駆体薄膜パターンの製造方法、金属酸化物薄膜パターンの製造方法、該製造方法により製造される金属酸化物薄膜パターン、及び該パターンを備える電子部品を提供する。【解決手段】金属酸化物薄膜を形成するための前駆体薄膜を基材に塗布した後、半乾燥化させた前駆体薄膜に、粘着材シートを当接して、不要な領域を基材から引き剥がすことにより、金属酸化物前駆体薄膜のパターンを製造する。前記前駆体薄膜のパターニングを行った後に、加熱処理等の酸化処理により、金属酸化物薄膜パターンを得ることができる。【選択図】図１