| 摘要 |
【課題】 様々な用途への応用が期待できるＤＬＣの粉末であるＤＬＣ粉末を提供する。【解決手段】 本発明によれば、原料ガスとして炭化水素系ガスを用いたプラズマＣＶＤ法によって、ＤＬＣ粉末が作製される。具体的には、ＤＬＣ粉末作製装置１０の真空槽１２内に原料ガスとしてのアセチレンガスが導入される。そして、真空槽１２を陽極とし、この真空槽１２内に配置されたルツボ１６を陰極として、これらに、放電用電力としてのパルス電力Ｅｐが供給される。すると、真空槽１２内にプラズマ２００が発生して、このプラズマ２００中の炭素イオンがルツボ１６の内壁に照射されることで、当該ルツボ１６の内壁にＤＬＣ粉末１００が作製される。このときのパルス電力Ｅｐの大きさによって、ＤＬＣ粉末１００の水素含有率Ｒ，密度δ，比抵抗ρおよび摩擦係数μが制御される。このＤＬＣ粉末１００は、固体潤滑剤をはじめとする様々な用途への応用が期待できる。【選択図】 図１ |
