主权项 |
一种可调楔形间隙掩膜电解加工微流道装置,包括装置端盖、间隙调节螺柱、角度调节螺柱、角度调节螺柱球头、装置底座、定位销和定位螺钉,其特征在于,装置主体为长方体,内有方正的型腔作为电解槽,为便于安装和拆卸,装置设有可拆卸的装置端盖和装置底座,通过螺钉连接;装置底座左右两端设有与水管连接的螺纹孔,作为电解液的进出口;装置底座中心位置设有圆形凹槽,形成圆柱状阳极工件安装区,圆形凹槽的直径与阳极工件的直径相同,圆形凹槽深度与阳极工件厚度相同;采用“一面两销”方式定位阳极工件,“一面”是圆形凹槽的底面,直接与阳极工件底面接触,“两销”分别是定位圆柱销和定位螺钉,装置底座上的圆形凹槽的底面设置有圆孔和中心位置处螺纹通孔,阳极工件在相应的位置分别设有相同深度的圆孔和螺纹孔配合定位;其中“一面两销”的定位螺钉在定位的同时,通过螺纹将阳极工件锁紧在装置底座上,露在装置底座底部的螺钉头与电源正极相连,为阳极工件施加电势;装置端盖中心位置处设有与阳极工件直径大小相同的螺纹通孔,螺纹通孔的内螺纹与间隙调节螺柱外螺纹配合,通过调节螺纹,使间隙调节螺柱上下移动,间隙调节螺柱上设有两个螺纹通孔,两个螺纹通孔与中心对称分布,两个角度调节螺柱与两个内螺纹孔配合;阴极工件安装在上端盖上,阴极工件通过两个角度调节螺柱被连接在间隙调节螺柱下方,通过控制间隙调节螺柱的高度来控制阴极工件和阳极工件间的间隙,间隙可调范围为0‑5mm;阴极工件是与阳极工件直径相等的圆柱,在阴极工件上端面开有“T”形槽,“T”形槽分叉点在圆心处,“T”形槽截面呈3/4圆形,两个角度调节螺柱上的球头被放置在“T”形槽内,球头通过螺纹与角度调节螺柱连接,进而调节两个角度调节螺柱带动球头调解阴极工件倾斜角度,阴极工件的倾斜角度由两个角度调节螺柱的高度差计算,角度调节范围为0‑10°,且伸出间隙调节螺柱的角度调节螺柱部分连接电源的负极,为阴极工件施加电势,在阴极工件和阳极工件间形成电势差。 |