一种分体式气足及平面导向装置

摘要

本发明公开了一种分体式气足，将气浮结构和磁预载结构分离，保证了气浮结构不会受到磁预紧力的作用而变形，而磁预载结构也不会碰触到平台，此设计既能避免气浮结构受损，又避免了传统真空预紧力结构的缺陷。在此基础上形成的平面导向装置能够很好的满足气浮的刚性需求，使得其支撑的运动台的稳定性得到极大的提高。

主权项

一种分体式气足，用于支撑运动台在平台上方作无摩擦运动，其特征在于，包括：多个气浮结构，所述气浮结构之间通过第一簧片连接，所述气浮结构为阶梯状；磁预载结构，所述磁预载结构与所述气浮结构分体式连接，置于气浮结构的阶梯上，所述磁预载结构包括磁预载板和分布于其中的磁铁阵列；所述第一簧片在各气浮结构的排列方向上的刚性比其垂直于各气浮结构排列方向的刚性高；还包括第二簧片，所述第二簧片连接所述磁预载板和所述气浮结构。