发明名称 GAS SUPPLY PIPE AND GAS TREATMENT EQUIPMENT
摘要 본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 가스 공급관은, 유입구로부터 유입된 가스를 길이 방향을 따라서 배치된 복수의 제1 가스 분출 구멍을 통하여 분출하는 제1 가스관과, 이 제1 가스관에 병설된 제2 가스관을 갖는다. 제2 가스관은, 길이 방향을 따라서 배치된 복수의 제2 가스 분출 구멍을 갖고, 제1 가스관과 역방향으로 가스를 흘린다.
申请公布号 KR101704897(B1) 申请公布日期 2017.02.08
申请号 KR20150029035 申请日期 2015.03.02
申请人 가부시끼가이샤 도시바 发明人 데라다 다카히로;마츠다 다쿠야;데우라 가오리;다나카 마사유키;와타세 아야
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址