一种多层金属电极材料及其制备方法

摘要

本发明公开了一种多层金属电极材料及其制备方法。本发明提供的多层金属电极材料包括设有电极图形的衬底以及依次沉积于所述衬底上的Ni层、Cu层、Ti层和Al层。本发明提供的制备方法包括如下步骤：采用蒸镀的方法，在衬底上依次沉积Ni层、Cu层、Ti层和Al层即得，所述蒸镀为电子束蒸镀或热蒸镀。本发明多层电极材料中，Ni有利于提高Cu的织构，不至于强烈增大电极电阻，同时提高对基底的粘附力；Ti可以作为扩散阻挡层提高铝膜织构，减小电极电阻；这种复合多层膜中，下面两层具有好的强韧性和较好的导电性，上面两层具有好的导电性和一定的强韧性，因此能用于制备声表面波器件或体声波器件。

主权项

一种多层金属电极材料，它包括设有电极图形的衬底以及依次沉积于所述衬底上的Ni层、Cu层、Ti层和Al层。