一种微测辐射热计

摘要

本实用新型涉及一种微测辐射热计，包括用于非制冷红外探测器的微测辐射热计微桥结构，包括顶层氮化硅，所述顶层氮化硅向下依次为红外热敏叠层薄膜、氮化硅支撑层，氮化硅支撑层与反射层之间通过支撑桥墩形成谐振腔；所述金属反射层位于硅衬底之上；所述的红外热敏叠层薄膜为热敏电阻材料与石墨烯材料构成的叠层结构，所述红外热敏叠层薄膜包括一至三层石墨烯材料，且石墨烯材料的上下两侧均为热敏电阻材料。该微测辐射热计能够宽波段红外吸收增强，从而提高器件的红外吸收率和探测灵敏度，器件结构简单，兼容MEMS工艺，适合批量生产。

主权项

一种微测辐射热计，其特征在于，包括顶层氮化硅，所述顶层氮化硅向下依次为红外热敏叠层薄膜、氮化硅支撑层，氮化硅支撑层与反射层之间通过支撑桥墩形成谐振腔；金属反射层位于硅衬底之上；所述的红外热敏叠层薄膜为热敏电阻材料与石墨烯构成的叠层结构，所述红外热敏叠层薄膜包括一至三层石墨烯材料，且石墨烯材料的上下两侧均为热敏电阻材料。