发明名称 LaNiO3薄膜形成用組成物及びこの組成物を用いたLaNiO3薄膜の形成方法
摘要 This LaNiO 3 thin film-forming composition includes: LaNiO 3 precursors; and acetic acid, wherein a ratio of an amount of the LaNiO 3 precursors to 100 mass% of an amount of the LaNiO 3 thin film-forming composition is in a range of 1 mass% to 20 mass% in terms of oxides, and the composition further includes a stabilizer containing N-methyl formamide in an amount of more than 0 mol to 10 mol or less per 1 mol of the total amount of the LaNiO 3 precursors in the composition.
申请公布号 JP6075144(B2) 申请公布日期 2017.02.08
申请号 JP20130061914 申请日期 2013.03.25
申请人 三菱マテリアル株式会社 发明人 藤井 順;桜井 英章;曽山 信幸
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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