LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

摘要

리소그래피 장치에서, 조명 모드는 퓨필 면 거울 상의 선택가능한 위치들로 방사선을 지향시키기 위한 복수의 이동가능한 면들을 포함하는 필드 거울을 이용하여 설정된다. 필드 면 거울이 결함이 있고 원하는 위치에 설정될 수 없는 경우, 이동가능한 면 거울들 중 다른 거울이 원하는 위치와는 상이한 보정 위치에 설정되어 결함이 있는 면 거울의 악영향을 적어도 부분적으로 완화시킨다.