机电变换器和用于检测机电变换器的灵敏度变化的方法

摘要

一种机电变换器包括：多个元件，每个元件包含第一电极和第二电极，在所述第一电极和第二电极之间具有间隙；电压施加单元，被配置为向第一电极施加AC电压；以及灵敏度变化计算单元，被配置为使用由于AC电压的施加而从元件中的每一个的第二电极输出的信号来计算对于该元件的灵敏度变化。

主权项

一种机电变换器，包括：多个元件，每个元件包含至少一个单元，所述单元包含第一电极和第二电极，其中在第一电极和第二电极之间具有间隙；电压施加单元，被配置为向元件中的每个元件的第一电极施加AC电压；以及灵敏度变化计算单元，被配置为使用由于AC电压的施加而从所述元件中的每一个的第二电极输出的信号来计算对于该元件的灵敏度变化，“灵敏度变化”指的是对于各电极对在振动膜位移之前的电流输出与在振动膜位移之后的电流输出之比；其中所述至少一个单元包括振动膜，在振动膜上形成有第一电极和第二电极之中的一个，或者振动膜作为第一电极和第二电极之中的一个；以及其中电压施加单元施加具有与振动膜的机械共振频率不同的频率的AC电压。