发明名称 |
セルフコンディショニング研磨パッドおよびその作製方法 |
摘要 |
The present invention is directed to a self-conditioning polishing pad. The self-conditioning polishing pad comprises an insoluble polymeric foam matrix and insoluble polymeric foam particles within the foam matrix. The particles are coated with a water-soluble component over a portion of the surface area of the particle. The particles may have a diameter in the range of 5 to 1000 microns in diameter. |
申请公布号 |
JP6078631(B2) |
申请公布日期 |
2017.02.08 |
申请号 |
JP20150501730 |
申请日期 |
2013.03.12 |
申请人 |
ジェイエイチ ローデス カンパニー, インコーポレイテッド |
发明人 |
ダスキーウィック, スコット ビー. |
分类号 |
B24B37/24;B24B37/26;H01L21/304 |
主分类号 |
B24B37/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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