一种卧式生产太阳能集热板的镀膜装置

摘要

本发明公开一种卧式生产太阳能集热板的镀膜装置，包括有依次连接的上片台、防尘加热室、进片区、镀膜区、出片区、下片台、抽空系统和传动机构；所述镀膜区由多个镀膜室组成，每个镀膜室内设有多个间隔板，通过间隔板在镀膜室内形成多个镀膜腔、通过间隔板于镀膜室内两端镀膜腔的外侧分别形成第一排气腔和第二排气腔；在同一镀膜室内第一排气腔或第二排气腔的外侧形成隔离腔；每个镀膜腔设有两个靶极和等离子体光谱检测装置。所述间隔板上与靶极对应侧对称设有两个水冷结构的“L”型调节挡板；并在两个“L”型调节挡板折弯处设有进气管，且两个进气管的进气方向相反。本发明涂层均匀、理化性能好、寿命长，生产效率，生产成本低，不会产生污染。

主权项

一种卧式生产太阳能集热板的镀膜装置，其特征在于：主要包括有依次连接的上片台、防尘加热室、进片区、镀膜区、出片区、下片台、抽空系统和传动机构；所述镀膜区由多个镀膜室组成，每个镀膜室内设有多个间隔板，通过间隔板在镀膜室内形成多个镀膜腔(20)、通过间隔板于镀膜室内两端镀膜腔(20)的外侧分别形成第一排气腔(171)和第二排气腔(172)；在同一镀膜室内第一排气腔(171)或第二排气腔(172)的外侧形成隔离腔(18)；所述镀膜腔(20)设有两个靶极(24)和等离子体光谱检测装置(38)；所述间隔板中间设有供太阳能集热板整板芯片通过的夹缝通道；所述镀膜腔的两个间隔板上对应靶极侧分别对称设置有水冷结构的“L”型调节挡板，并在两个“L”型调节挡板弯角处设置有进气管；两个“L”型调节挡板及进气管与镀膜室壁绝缘连接；并且两个进气管的进气口反向设置；所述进气管管壁上与“L”型调节挡板弯角处对应侧设有多个散气孔；工作气体通过散气孔喷射到“L”型调节挡板上，经“L”型调节挡板反射后扩散到镀膜腔内；所述镀膜腔内装有一组孪生靶极；所述镀膜腔的间隔板上与靶极对应侧对称设置有上、下可调节的水冷结构的“L”型调节挡板，保证“L”型调节挡板与被镀芯片之间的距离是可调的，在两个“L”型调节挡板折弯处分别设有进气管，“L”调节挡板和进气管与镀膜室体绝缘，进气管的进气方向相反设置；所述进气管在长度方向上与“L”型调节挡板折弯处对应侧设有多个散气孔；工作气体通过散气孔喷射到“L”型调节挡板上，经“L”型调节挡板反射后扩散到镀膜腔内；所述进气管末端为自由调整端，旋转角度90°，改变散气孔与“L”型调节挡板的对应角度；具体工作时，把事先经过组焊、检漏、表面清洗处理好的被镀太阳能集热板整板芯片装在运送架上，然后放到上片台，被镀芯片在上片台传动的作用下进入防尘加热室，对芯片进行加热、烘烤，加热温度设定在150～180℃；该防尘加热室内设有多个加热源，所述加热源采用远红外加热管；加热源呈矩阵式分布，每个加热源具有独立的测温传感器和温度控制回路，采用PDI控制，将每个加热源的给定温度与测量温度相比较，来控制该加热源的加热源启/停，确保被镀芯片表面温度均匀；当芯片接近进片阀门时，对进片室放气，当进片室达到大气状态时，打开进片阀门，被镀芯片快速进入进片室，关闭进片阀门，打开低真空阀门，由机械泵和罗茨泵对进片室抽低真空，当真空度达到8×10^‑1Pa，打开进片隔离阀，芯片快速进入进片过渡室，关闭进片隔离阀，被镀芯片在进片过渡室和进片缓冲室行进过程中，启动离子表面活化装置，对被镀芯片表面进行活化处理，清除被镀芯片表面的氧化层，提高涂层的附着力；当被镀芯片进入镀膜区，由扩散泵通过排气腔、气体隔离腔进行抽真空，通过 进气管充入相应的工作气体Ar、O₂、N₂，使工作压强维持在2.0～4.0×10^‑1Pa，在镀膜区内依次完成高反射率金属层、太阳能选择性吸收涂层、减反射层、保护层镀制工艺过程，在溅射过程中启动等离子体光谱检测装置，实时监控各个镀膜室的溅射情况，确保溅射的稳定性、重复性；镀膜结束后芯片经过出片缓冲室进入出片过渡室，当出片室的真空度高于8×10^‑1Pa时，打开出片隔离阀，被镀芯片快速进入出片室，关闭出片隔离阀，关闭出片室真空阀门，对出片室进行放气；当出片室达到大气状态时，打开出片阀门，被镀芯片快速到达下片台，关闭出片阀门，对出片室进行抽空，等待下一片的到来，在下片台对膜层的外观进行质检并下片，完成一个周期的镀膜过程；所述太阳能集热板整板芯片是：先将集热板或集热翼片与排管焊接，再与上、下集管焊接成待镀膜的吸热板；整板芯片规格：长度为50cm～360cm；宽度为50cm～250cm。