一种复杂结构半导体器件模拟方法

摘要

一种复杂结构半导体器件模拟方法，将基本物理模型按照所采用的数值离散方法全部写成基本子程序，将器件结构按照基本功能单元分解组合成具有固定语法规则的结构文件，编辑器获取每个特殊基本功能单元中每个基本物理模型的属性特征，代码生成器选择判断生成专属某特殊基本功能单元的线性方程组生成子程序，采用函数指针数组关联基本功能单元和基本功能单元的线性方程组生成子程序，根据获得的线性方程组生成子程序，编译整个器件结构的模拟求解程序。本发明节省了大量在生成结点值增量线性方程组时所需要的额外判断运算量，提高了模拟程序运算性能，大大增加了程序的可维护性。

主权项

一种复杂结构半导体器件模拟方法，其特征在于，包含以下步骤：步骤S1、将基本物理模型按照所采用的数值离散方法全部写成基本子程序；所述的基本物理模型包含：化合物半导体器件结构的微分方程组所涉及到的物理现象；步骤S2、将器件结构按照基本功能单元分解组合成具有固定语法规则的结构文件，同时编写基本功能单元的默认基本线性方程组生成子程序；所述的基本功能单元包含多个基本物理模型；步骤S3、编辑器读取并分析结构文件，获取每个基本功能单元中每个基本物理模型的参数属性特征，代码生成器根据每个基本功能单元所包含的每个基本物理模型的属性特征，与默认基本功能单元属性特征比较判断该基本功能单元是否为默认基本功能单元，如果否，则生成属于该特殊基本功能单元的线性方程组生成子程序；所述的代码生成器输入每个特殊基本功能单元中每个基本物理模型的属性特征，输出专属某特殊基本功能单元的线性方程组生成子程序；步骤S4、采用函数指针数组关联基本功能单元和基本功能单元的线性方程组生成子程序，使特殊基本功能单元使用其专属的线性方程组生成子程序；步骤S5、根据获得的线性方程组生成子程序，编译整个器件结构的模拟求解程序。