| 发明名称 |
誘導自己組織化ブロックコポリマーのための中性層の組成物及びそれの方法 |
| 摘要 |
The present invention relates to novel neutral layer compositions and methods for using the neutral layer compositions for aligning microdomains of directed selfassembling block copolymers (BCP). The compositions and processes are useful for fabrication of electronic devices. |
| 申请公布号 |
JP6077547(B2) |
申请公布日期 |
2017.02.08 |
| 申请号 |
JP20140531329 |
申请日期 |
2012.09.21 |
| 申请人 |
メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＭｅｒｃｋ Ｐａｔｅｎｔ Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ ｍｉｔ ｂｅｓｃｈｒａｅｎｋｔｅｒ Ｈａｆｔｕｎｇ |
发明人 |
ウ・ヘンペン;ツァオ・イ;ホン・ソンウン;イン・ジェン;ポーネスク・マルガレータ;ナイサー・マーク・オー;リン・ゴンヤン |
| 分类号 |
C08L53/00;C08F212/06;C08F212/32;C08F220/12;C08L25/04;C08L33/04;G03F7/11 |
主分类号 |
C08L53/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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