发光器件的制造方法

摘要

本发明提供了一种发光器件及其制造方法。该发光器件包括：具有第一N型化合物半导体层、有源层和P型化合物半导体层的化合物半导体结构；位于所述P型化合物半导体层上并与所述P型化合物半导体层电连接的P型电极层；位于所述化合物半导体结构和所述P型电极层的两侧的多个绝缘壁；穿透所述多个绝缘壁的多个N型电极层；以及导电衬底，在所述导电衬底中分别对应于所述多个N型电极层的多个N型电极连接层与对应于所述P型电极层的P型电极连接层分开。

主权项

一种制造发光器件的方法，该方法包括步骤：在衬底上形成多个绝缘壁；在由所述多个绝缘壁限定的内部空间中形成化合物半导体结构和P型电极层；在所述多个绝缘壁中形成对应的多个N型电极层；以及附接导电衬底，在所述导电衬底中多个N型电极连接层与P型电极连接层分开，其中，所述附接所述导电衬底的步骤包括步骤：穿透所述导电衬底以形成多个孔；以及用绝缘材料填充所述多个孔中的每一个并且形成将所述P型电极连接层与所述多个N型电极连接层分开的多个隔墙。