Graphene transcription substrate manufacturing method

摘要

그래핀 전사기판 제조방법의 일 실시예는, 웨이퍼 상에서 그래핀(graphene)을 성장시키는 그래핀필름 성장단계; 상기 그래핀필름에 지지기판을 부착하는 지지기판 부착단계; 식각물질을 사용하여 상기 웨이퍼를 식각하여 상기 그래핀필름과 상기 웨이퍼를 분리시키는 웨이퍼 식각단계; 및 상기 그래핀필름을 타겟기판에 부착하는 그래핀필름 부착단계를 포함할 수 있다.