SEMICONDUCTOR DEVICES AND METHODS OF MANUFACTURING THE SAME AND SEMICONDUCTOR PACKAGES INCLUDING THE SEMICONDUCTOR DEVICES

摘要

반도체 장치는 다이 영역 및 상기 다이 영역을 둘러싸는 스크라이브 영역을 갖는 기판, 상기 다이 영역 내에서 상기 기판을 관통하며 일부가 상기 기판 상부로 노출된 복수 개의 관통 전극 구조물들, 및 상기 기판 상면에 형성되며 상기 노출된 관통 전극 구조물 부분의 측벽을 감싸고 상기 기판의 상기 스크라이브 영역을 따라 형성된 스크라이브 라인용 홈을 가지며 상기 관통 전극 구조물에 인접한 상기 스크라이브 영역의 일부를 커버하는 돌출부를 갖는 보호막 패턴 구조물을 포함한다.