发明名称 DATA CORRECTING APPARATUS DRAWING APPARATUS INSPECTION APPARATUS DATA CORRECTING METHOD DRAWING METHOD INSPECTION METHOD AND PROGRAM RECORDED ON RECORDING MEDIUM
摘要 설계 데이터(7)에 포함되는 복수의 데이터 블록(71) 중, 하나의 주목 패턴을 나타내는 주목 데이터 블록이, 주목 패턴의 일부의 패턴을 나타내는 폴리곤 데이터(711)와, 주목 패턴의 다른 일부의 패턴을 나타내는 참조 데이터 블록의 참조를 지시하는 참조 지시 정보를 포함한다. 설계 데이터의 보정에서는, 주목 데이터 블록으로부터 참조 지시 정보가 실질적으로 삭제되고, 참조 지시 정보가 삭제된 주목 데이터 블록과, 참조 데이터 블록이 개별적으로 보정된다. 보정이 끝난 주목 데이터 블록이 나타내는 패턴과 보정이 끝난 참조 데이터 블록이 나타내는 패턴은 합성된다. 이에 의해, 주목 데이터 블록에 포함되는 폴리곤 데이터가 나타내는 패턴과, 참조 데이터 블록이 나타내는 패턴이 개별적으로 보정된다.
申请公布号 KR20170013162(A) 申请公布日期 2017.02.06
申请号 KR20160092073 申请日期 2016.07.20
申请人 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 发明人 야마다 료;시미즈 요시야스
分类号 G03F7/20;G03F1/70;G03F1/72;G03F1/80 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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