发明名称 Organic light-emitting display apparatus and the method for manufacturing of the organic light-emitting display apparatus
摘要 본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판 상에 불소중합체를 포함하는 리프트오프층을 형성함; 상기 리프트오프층 상에 포토레지스트를 형성하고, 상기 포토레지스트의 일부를 제거하여 패터닝함; 제1 용매로, 상기 포토레지스트가 제거된 영역의 리프트오프층을 에칭하여, 상기 리프트오프층의 일부를 잔존시킴; 상기 잔존하는 리프트오프층 상부 및 상기 포토레지스트가 잔존하는 영역 상부에, 식각 저지막을 형성함; 및 제2 용매로, 상기 포토레지스트가 잔존하는 영역 하부에 형성된 리프트오프층을 제거함;을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
申请公布号 KR20170012706(A) 申请公布日期 2017.02.03
申请号 KR20150103877 申请日期 2015.07.22
申请人 삼성디스플레이 주식회사 发明人 권영길
分类号 H01L51/56;H01L21/027;H01L27/32;H01L51/00 主分类号 H01L51/56
代理机构 代理人
主权项
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