| 摘要 |
본 발명은 플라즈마 방전 포인트 자동 탐색 방법, 임피던스 매칭 방법 및 이를 위한 임피던스 매칭 장치에 관한 것이다. 본 발명의 플라즈마 방전 포인트 자동 탐색 방법은 임피던스 정합을 위한 복수 개의 가변 캐패시터를 구동하며, 센서부를 통해 플라즈마 반응챔버로 공급되는 전압 및 전류를 측정하는 단계; 상기 측정된 전압 및 전류 값을 이용하여 복수 개의 가변 캐패시터의 구동범위에 해당하는 데이터 메트릭스를 형성하는 단계; 상기 데이터 메트릭스에서 플라즈마 방전 가능영역을 구분하여 상기 플라즈마 방전 가능영역 내에서 플라즈마 방전 포인트를 설정하는 단계; 및 상기 플라즈마 방전 포인트에 해당하는 가변 캐패시터의 구동범위를 확인하고, 가변 캐패시터를 제어하는 단계를 포함한다. 본 발명의 플라즈마 방전 포인트 자동 탐색 방법, 임피던스 매칭 방법 및 이를 위한 임피던스 매칭 장치는 전류, 전압을 이용한 데이터 메트릭스를 이용하여 방전 포인트를 쉽고 빠르게 자동으로 탐색할 수 있다. 또한 데이터 메트릭스를 이용하여 플라즈마 방전 이후 플라즈마 오프 현상이 발생되는 것을 미연에 방지할 수 있다. |
