| 摘要 |
【課題】 インゴットから効率よくウエーハを生成することのできるウエーハの生成方法を提供することである。【解決手段】 六方晶単結晶インゴットからウエーハを生成するウエーハの生成方法であって、インゴット表面の垂線に対してｃ軸がオフ角分傾き、表面とｃ面との間にオフ角が形成される方向と直交する方向にレーザービームの集光点を相対的に移動して直線状の改質層を形成する改質層形成ステップを含む。改質層形成ステップにおいて、レーザービームのスポット面積の全てがインゴットの上面に重なるまでウエーハの厚みに相当する深さに至らない位置から放物線を描くようにレーザービームの集光点を位置付け、スポット面積の全てが上面に重なった時点で集光点をウエーハの厚みに相当する深さに位置付ける。【選択図】図９ |
