| 摘要 |
【課題】加速度計を提供する。【解決手段】本明細書に開示する加速度計は、支持ウエーハ、下部ウエーハ、上部ウエーハ、および誘導ピックオフ含む。支持ウエーハは、平面を画定することができ、第１の側、第２の側、およびプルーフマスを備えることができる。プルーフマスは、支持ウエーハによって画定された平面内を動くように構成することができる。下部ウエーハは、第１の側および第２の側を備えることができ、第１の側は、支持ウエーハの第１の側の上に位置決めすることができる。上部ウエーハは、第１の側および第２の側を備えることができ、第１の側は、支持ウエーハの第２の側の上に位置決めすることができる。誘導ピックオフは、近接場共振伝導結合機構を備えることができ、プルーフマスの変位量を示す信号を電子機器へ出力するように構成することができる。【選択図】図１ |
