| 摘要 |
롤투롤 증착장치가 개시된다. 일 실시 예에 있어서, 상기 롤투롤 증착장치는 챔버, 언와인딩롤러, 와인딩롤러, 타겟, 제1롤러, 제2롤러 및 전원부를 포함한다. 상기 언와인딩롤러는 상기 챔버 내부에 배치되며, 롤링하여 유연성 기판을 공급한다. 상기 와인딩롤러는 상기 챔버 내부에 상기 언와인딩롤러와 대향하게 배치되며, 롤링하여 상기 유연성 기판을 회수한다. 상기 타겟은 상기 챔버 내부에 배치되며, 일면이 상기 챔버 내부에 상기 언와인딩롤러와 상기 와인딩롤러 사이를 이동하는 상기 기판에 대향하여 배치되며, 스퍼터링에 의하여 상기 기판의 일면에 막을 증착한다. 상기 제1롤러와 상기 제2롤러는 상기 챔버 내부에 상기 언와인딩롤러 및 상기 와인딩롤러 사이에서 서로 이격되어 배치되며, 상기 타겟과 대향하여 이동하는 상기 기판이 상기 타겟과 소정의 거리를 유지하도록 한다. 상기 전원부는 상기 기판과 상기 타겟 사이에 전압을 인가하여 상기 챔버 내부에 플라즈마를 생성한다. 이 경우, 상기 제1롤러는 롤링하여 상기 언와인딩롤러로부터 상기 기판을 공급받아 상기 제2롤러로 제공한다. 상기 제2롤러는 롤링하여 상기 제1롤러가 제공하는 상기 기판을 공급받아 상기 와인딩롤러로 제공한다. 상기 제1롤러와 상기 제2롤러는 상기 기판의 타면과 접하여, 상기 기판 중에서 상기 제1롤러와 상기 제2롤러 사이에 위치하는 상기 기판 부분-이하 증착영역이라 함-의 장력이 소정의 수준으로 유지되도록 하여 상기 증착영역이 상기 타겟과 상기 소정의 거리를 유지하도록 한다. |
