電子源のクリーニング方法及び電子ビーム描画装置

摘要

【課題】電子源に付着した不純物を効率良く除去し、電子ビーム放射特性の劣化及び描画装置の稼働率低下を防止する。【解決手段】本実施形態による電子源のクリーニング方法は、電子銃室６０内に不活性ガスを供給する工程と、電子源６４から電子を放出して前記不活性ガスをイオン化し、生成されたイオンのイオン衝撃により電子源６４に付着した不純物を除去する工程と、電子銃１４の電子ビーム放射特性の変化に基づいて前記不活性ガスの供給を停止する工程と、を備えるものである。【選択図】図２