| 摘要 |
【課題】処理基板に施す処理の種類が異なる複数の製造装置間で前室を共通化することが容易な製造システム。本発明の製造システムによれば、該製造装置の開発コストや製造コストを低価格化することができる。【解決手段】小型製造装置の処理室及び前室に別個に制御部を設ける。処理室制御部が搬入要求信号を出力すると、前室制御部が処理基板を処理室に搬入して、搬入通知信号を出力する。処理室制御部は、搬入通知信号を入力すると処理基板の処理を行い、処理の終了後に搬出要求信号を出力する。前室制御部は、搬出要求信号を入力すると処理基板の搬出を開始し、該処理基板が処理室から搬出されると、搬出通知信号を出力する。処理室は、搬出通知信号を入力すると、次回の処理の準備を開始する。 |
